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1、真空泵的工作壓強應該滿足真(zhēn)空設備的極限真空及(jí)工(gōng)作壓強要求。如:某真空幹燥工(gōng)藝要求10mmHg的工作(zuò)真空度,選用的真空泵的極限真空度至(zhì)少(shǎo)要2mmHg,最(zuì)好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高於真空設備工作真空度半個到一個(gè)數(shù)量級。
2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的(de)工作壓強範圍,如:2BV係列水環真空泵工作壓強範圍(wéi)760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強範圍(wéi)內,泵的抽(chōu)速隨(suí)壓強(qiáng)而變化(詳細變化情(qíng)況參照泵的性能曲線),其穩定的工作壓強範圍為760~60mmHg。因而,泵的工(gōng)作點應該選在這個範圍之內較(jiào)為適宜,而不(bú)能讓它在25~30mmHg下長期工(gōng)作。
3、真空(kōng)泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
4、正確地組合真(zhēn)空泵。由於真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣(qì)要求(qiú)。如鈦升華泵對氫有(yǒu)很高的抽(chōu)速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵(bèng),(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩(liǎng)者組合起來,便會使真空(kōng)裝置(zhì)得到較好的真空度(dù)。另外(wài),有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低於大氣壓,需要(yào)前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
5、真空設備對油汙染(rǎn)的要求。若(ruò)設備嚴格要求無油時,應該選各(gè)種無油泵(bèng),如:水環泵、分(fèn)子篩吸附泵(bèng)、濺射離子泵、低(dī)溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加(jiā)上一些防油汙染措施,如加冷阱、障(zhàng)板(bǎn)、擋油阱(jǐng)等,也能達到清潔真空(kōng)要求。
6、了(le)解被抽氣體成分,氣體中(zhōng)含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵(bèng)時,需要(yào)知(zhī)道氣體成分,針對被抽氣體(tǐ)選擇相應的泵。如果氣體中含(hán)有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣(qì)體,應該考慮在(zài)泵的進(jìn)氣口管路(lù)上安裝輔助設備(bèi),如冷凝器、除塵器等。
7、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環境的影(yǐng)響如何。如果(guǒ)環境不(bú)允許有汙染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
8、真空泵工作時產生的振動(dòng)對工藝過程及環境有無影響(xiǎng)。若工(gōng)藝(yì)過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
9、真空泵(bèng)的價格、運轉及維修費用。
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