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真空泵在其(qí)工(gōng)作(zuò)壓強下,應及時排(pái)走真空設(shè)備工藝(yì)過程中產生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由於真空泵有選(xuǎn)擇性(xìng)抽氣,因而,有(yǒu)時選用一種泵不能滿足抽(chōu)氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求(qiú)。如鈦升華(huá)泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或(huò)二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對氬有(yǒu)一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。
真空泵不(bú)能在大氣壓下工作,需要預真空,有的真空泵出口壓強(qiáng)低於大(dà)氣壓(yā),需要前級泵,故(gù)都需要把泵組合起來(lái)使用。真空設備對油汙染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵(bèng)、分子篩吸附泵、濺射(shè)離子泵、低溫(wēn)泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上(shàng)一些防油汙染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。
真空泵應安裝在地麵結實堅固的場所,周圍應留有充分的餘地,便於檢查、維(wéi)護、保養。真空泵底座下應保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮(pí)或用(yòng)螺栓澆製安裝,確保真空(kōng)泵運轉平穩,振動小。
真空泵與係統的連接管(guǎn)道(dào)應密封(fēng)可靠,對小(xiǎo)真空泵可采用金屬(shǔ)管路連接密封墊采(cǎi)用(yòng)耐(nài)油橡膠,對小真空泵可采用真空膠(jiāo)管連接,管道管徑不得小於(yú)真空泵吸氣口徑,且要求(qiú)管路短而少彎頭。
一、機械密封裝置;
1.動環和靜環(huán)表麵須光潔,不得有任何劃傷,密封麵的平麵度保持 在0.87um之內。
2.水環真空泵密封裝置處軸的徑向跳動應小於0.03mm。
3.彈簧無(wú)裂紋、鏽蝕等缺陷,彈簧兩端麵與中心線的垂直度偏差應小(xiǎo)於5/1000,同一機(jī)械密封中各彈簧之間的自由高度差不大於0.5mm。
4.動(dòng)環和靜環密封端麵(miàn)的瓢偏(piān)應不大於0.02mm,兩端(duān)麵的不平行度應不大於0.04mm。
二、 浮動環密封裝置:
1.支承環和浮動環及軸上安裝浮動環的部位,應光潔無損傷;浮動環和支承環的密封(fēng)端麵應進行塗色檢查,要求接觸(chù)良好。
2.浮動環同(tóng)軸套的徑向總間(jiān)隙,一般為0.15-0.25mm。
3.文承(chéng)環及軸套的徑向間隙應四周均勻。
4.支承彈簧應無缺陷,同(tóng)組浮動環支承彈簧的自由高度偏差,應(yīng)不大於0.5mm。
機械真空泵漏油部位多在軸封、放油孔、油窗(chuāng)、油箱等處,主要原(yuán)因是磨損時間過長(zhǎng),密封件損壞或裝配不良,未(wèi)壓緊和上緊螺釘時用力不均而造成。發現某(mǒu)處漏油時,維修工作者和操作者應立即采取措施,不(bú)應習以為常,認為“小毛病”不傷大雅而聽之任之。否則長此以往將引起泵漏氣或損壞。漏油並(bìng)不難(nán)解決,隻須先放(fàng)出泵油,拆(chāi)開泄漏處(chù)以調(diào)換密封件即可。前已介紹過(guò)軸(zhóu)封漏的解決辦法,對放油孔滲漏,可用鉛板、橡膠紙板、耐油真空橡皮板等作成(chéng)墊(diàn)換上,對油窗等其他密封處(chù)漏油可同樣處理。箱體本身(shēn)摻漏較少見,多由砂眼引起,可使用環氧樹脂(zhī)等堵漏劑(jì)將其封死。